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凈化車間潔凈室裝修要求

發(fā)布時間：2022-05-24 23:15:30 丨 瀏覽次數(shù)：

凈化車間裝修的重點是讓我們看到溫度和濕度的作用。從生產(chǎn)過程的角度來看，每條生產(chǎn)線應有不同的控制參數(shù)要求；從衛(wèi)生角度來看，高濕度容易滋生細菌，尤其是霉菌。溫度和濕度越低，越能抑制細菌的繁殖。雖然濕度低，但容易灰塵和傳播細菌。然而，綜合分析表明，較低的濕度是有益的。在各生產(chǎn)潔凈區(qū)的溫濕度控制中，無需強制統(tǒng)一參數(shù)標準，而是應根據(jù)不同產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求確定，這不僅有利于空調(diào)系統(tǒng)的調(diào)節(jié)和運行，也有利于生產(chǎn)控制。

凈化車間布置在一定的空間內(nèi)，以消除空氣中的顆粒物、有害空氣和細菌等污染物，并將室內(nèi)溫度、清潔度、壓力、風速和氣流分布、噪聲、振動、照明和靜電控制在一定的需求范圍內(nèi)。凈化工程公司專門設計的房間，無論外部空氣條件如何變化，都能保持原來設定的清潔度、溫度、濕度和壓力。潔凈室溫濕度控制

潔凈空間的溫度和濕度主要根據(jù)工藝要求確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮人體舒適性。隨著對空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫度和濕度的要求越來越嚴格。

具體工藝的溫度要求將在后面列出，但作為一般原則，由于加工精度越來越高，對溫度波動范圍的要求越來越小。例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光過程中，作為掩模材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數(shù)之間的差異要求越來越小。當直徑為100微米的硅片的溫度上升1度時，它會導致0.24微米的線性膨脹，因此它必須具有±0.1度的恒定溫度。同時，濕度值一般較低，因為人們出汗后會污染產(chǎn)品，特別是在害怕鈉的半導體車間。本車間溫度不得超過25度。

濕度過高會導致更多問題。當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁會凝結。如果發(fā)生在精密器件或電路中，會引起各種事故。相對濕度為50%時易生銹。此外，當濕度過高時，粘附在硅片表面的灰塵會通過空氣中的水分子化學吸附在硅片表面，很難去除。相對濕度越高，去除附著力就越困難。然而，當相對濕度低于30%時，由于靜電力的作用，粒子容易吸附在表面上，大量半導體器件容易擊穿。對于硅片生產(chǎn)，最佳溫度范圍為35-45%。

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